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分析真空泵的分类
发布时间:2019-06-21   点击次数:258次
   分析真空泵的分类
  真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。
  按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵。
  变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。
  动量传输泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。(单独段介绍)
  变容真空泵又分为:往复式,旋转式(旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式),其它型式。
  人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中,采用各种不同的方法,已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa,宽达18个数量级的压力范围。显然,只用一种真空泵,获得这样宽的低压空间的气体状态,是十分困难的。
  在真空获得技术中,目前用以获得真空的技术方法有两种,一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出;另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多,分类方法各异,但是,最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。这一点,我们将在下一节中介绍。

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